概要
年々小径化が進むLVH(レーザービア）。
ドリル穴同様に、LVHの検査を求める声が高まっていますが、
従来の穴位置検査装置では、LVHように未貫通穴では光が通らず、
カメラでの認識に難がありました。
MIYABI7では、独自の照明機構でこの問題を解決。
LVHの全穴検査と回路検査を1台で対応します。
特徴
■あらゆる基板を高精度に検査する、新開発の照明系
独自設計の「多角ラインドーム型照明」は、光量のバラつきがないことに加え、
これまでパターン部と基材部のコントラストが確保しづらかった基板でも、
確実にパターン認識することができ、良好な検査結果が得られます。
■スルーホールやレーザービア（LVH）をパターンと同時に全穴検査
MIYABIの特長であるサブピクセル単位の測長検査に加え、新開発のLVH専用ロジックも搭載。
従来の穴ずれや穴径異常、座切れといった欠陥のみならず、ビア底の異常も高精度に検出します。
スルーホールのほかトップ径30μmクラスのLVHを、パターンと同時に全穴検査が可能です。
■多彩な検出ロジック・分析機能を搭載。レーザービアの不良内容を特定できます。
全穴のTOP最大径、最小径や、BOTTOM最大径、最小径、
穴ズレや異物残りなど、多彩な不良内容を検出します。
また、ピースやシート単位での欠陥管理を可能としたことにより、ベリファイ工程を効率化出来ます。
レーザービア（LVH）検出サンプル
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